GJG100J(A)瓦斯抽放用红外传感器所述硅热元件包括两个固定端硅热器两个硅悬臂,所述固定端设在型硅衬底上，所述固定端包括型硅型硅上的氧化硅层及用作电引出焊盘的金属，所述电引出焊盘金属设在型硅之上的氧化硅层上，且电引出焊盘金属通过氧化硅层的窗口与其下面的型硅直接接触构成欧姆接触，电引出焊盘金属与其下的型硅层接触部分没有氧化硅层,电桥的两端输出随外界气体浓度变化的电信号。GJG100J(A)瓦斯抽放用红外传感器在型硅衬底的背面进行与正面刻蚀窗口对准的光刻，形成背面刻蚀窗口的图形,本实施例中是以传感器为例以说明,本发明的传感器有利于采用计算机根据片上集成的环境温度测量元件获得的环境温度灵活的调节热元件的温度完成直接进行温度补偿，从而传感器的性能。
传感器产品介绍
传感器满足了我国煤矿监测井下浓度的需要。它可以连续自动地将井下浓度转换成标准电信号输送给配接设备，并具有就地显示沼气浓度值，超限声光报警等功能。传感器经国家防爆检验机关进行联机检验后,可与国内各类型监测系统及断电仪、风电瓦斯闭锁装置配套，适宜在煤矿采掘工作面、机电硐室，回风巷道等地点固定使用。量程用于标定传感器的满量程点,当有气体出现时，全硅传感器的硅热器的温度降低，使硅元件的电阻发生变化,对硅热元件外表面露出的硅进行氧化，形成厚度均匀的薄层氧化硅，其厚度为十数至，作为钝化保护层
传感器主要特点
1．采用单片微机和高集成数字化电路，使电路结构简单，性能可靠，便于维修与调试。
2．实现了红外遥控调校零点、标校点、报警点等功能,使调校方便简单。浓度显示单元，用于分别显示处理器输出的本地浓度值数据和远端浓度值数据及其标识,第六步，在金属层上光刻，刻蚀金属层后形成电引出焊盘金属金属连接线及总金属连接端，所形成的每个硅热元件的电引出焊盘金属与金属连接线通过金属层相连通，金属连接线与总金属连接端通过金属层相连通，所述总金属连接端设在型硅衬底的边缘，当在总金属连接端施电势时，整个硅圆片上的所有硅热元件的型硅形成良好电连接并具有与总连接端相同的电势，所述金属连接线设在划片槽内,在基片背面光刻形成背面刻蚀窗口图形后，采用湿法刻蚀或( ，感应耦合等离子体刻蚀或( ，深反应离子刻蚀等干法刻蚀方法刻蚀去除掉背面刻蚀窗口所露出的基片的硅衬底，刻蚀停止于埋层氧化硅
3．增了传感器断电控制功能,并可任意设定断电点,实现了一机多用。
4．采用新型关电源,降低了整机功耗,增了仪器传输距离。
5．增了故障自检功能,便于使用与维护。
6．设计了新的高强度外壳结构,增强了仪器抗冲击能力。
传感器适用条件
1、适用条件
环境温度：0℃～40℃
相对湿度：≤98%RH
大气压力：80kPa～116kPa
风速：0m/s～8m/s
适用于含有瓦斯或煤尘危险的煤矿井下。在本发明的硅热元件的外表面设置的钝化层也降低了外界环境对上述元器件的影响，从而了本发明的传感器性能的稳定性,当没有气体时，单片气体检测器的测温元件受热元件的热高温影响温度升高，电阻增大;而当气体出现时及浓度增时，热元件的温度降低，测温元件受其影响温度也降低，导致自身电阻的降低，于是通过电学检测的方法可以检测的出现及浓度变化;环境温度检测器独立探测本发明微型传感器的片上温度用于浓度数据的温度补偿,双向数据通信单元，用于将处理器输出的浓度数据包发送给远端，以及将来自远端的浓度数据包发送给处理器
传感器性能指标
测量范围：0.00%CH4～4.00%CH4
基本误差 % CH4
0～1.00% ±0.10
1.00～3.00 真值的±10％
3.00～4.00 ±0.30
分辨率： 0.01%CH4
显示方式：4位LED 显示，并能表示显示值的正或负。
响应时间：传感器的响应时间（T90）应≤20s
报警点：可调，传感器出厂时设定在1.00%CH4，报警误差：±0.05%CH4。
报警方式：声、光，其中：
a) 声级强度：≥80dB(A)；
b) 光可见度：20m处清晰可见。
工作方式：扩散式
断电功能：
a) 断电点：可调，传感器出厂时设定在1.50%CH4
b) 复电点：可调，传感器出厂时设定在1.00%CH4
防爆型式：矿用本质安全兼隔爆型
防爆标志：Exdib I Mb
输出信号：
a) 频 率：200~1000Hz；5~15Hz；5~155Hz；（电流脉冲输出或光电隔离输出）
b) 断电输出：5VDC/20mA的直流信号，或光电隔离输出。
外形尺寸：270 × 155 × 55mm
重量：≤1.3kg；
外壳材质：不锈钢。
采用保护层覆盖硅片的正面，保护层为光刻胶，所述保护层覆盖除热元件测量元件悬空结构以及环境温度测量元件的测量电阻以外的硅片正面部分,固定端的硅层设在埋层氧化硅之上,其中氧化硅的厚度至少，氧化铪的厚度至少为，氧化铝厚度至少，氮化硅厚度至少，整个钝化保护层的厚度不超过
采用保护层覆盖硅片的正面，保护层为光刻胶，所述保护层覆盖除热元件测量元件悬空结构以及环境温度测量元件的测量电阻以外的硅片正面部分,固定端的硅层设在埋层氧化硅之上,其中氧化硅的厚度至少，氧化铪的厚度至少为，氧化铝厚度至少，氮化硅厚度至少，整个钝化保护层的厚度不超过
GJG100J(A)瓦斯抽放用红外传感器光刻形成正面结构的刻蚀窗口的图形，随后采用干法刻蚀去除所述刻蚀窗口图形中的步生成的氧化硅层及其下的硅层，刻蚀停止于埋层氧化硅，在埋层氧化硅上形成热元件固定端键合固定端电引出端多个支撑端测量元件测温元件固定端键合支撑端与环境温度检测器的结构及划片槽,下面结合附图对本发明进行详细说明,本发明的目的是提供一种既可以上传本地浓度信息又可以接收来自远端的浓度信息的双向数据传输功能的传感器。GJG100J(A)瓦斯抽放用红外传感器所述掩蔽版仅露出热元件测量元件悬空结构以及环境温度测量元件的测量电阻，而其余的基片正面部分则被掩蔽版遮挡住,在型硅衬底的背面进行与正面刻蚀窗口对准的光刻，形成背面刻蚀窗口的图形,可以光刻胶作为保护层。