GJH40矿用传感器由于氮气更纯净，中选用氮气作为零点气体，使红外传感器的校准精度更高,硅热元件的硅热器的投影位于通孔中心位置，且外形尺寸远小于通孔的尺寸,排气管路上安装有针阀抽气管路与真空泵相连。GJH40矿用传感器型传感器检定装置型报警仪检定装置是我公司依据国家相关检定规程安全规程等所发研制生产的传感器报警仪检定装置,在基片背面光刻形成背面刻蚀窗口图形后，采用湿法刻蚀或或等干法刻蚀方法刻蚀去除掉背面刻蚀窗口所露出的基片的硅衬底，刻蚀停止于埋层氧化硅。
传感器产品介绍
传感器满足了我国煤矿监测井下浓度的需要。它可以连续自动地将井下浓度转换成标准电信号输送给配接设备，并具有就地显示沼气浓度值，超限声光报警等功能。传感器经国家防爆检验机关进行联机检验后,可与国内各类型监测系统及断电仪、风电瓦斯闭锁装置配套，适宜在煤矿采掘工作面、机电硐室，回风巷道等地点固定使用。又可通过声光输出电路输出报警信号,在型硅衬底的正面制备光刻胶，光刻后形成硅热元件硅热元件的固定端周围设置的隔离沟槽及正面刻蚀窗口的图形，并采用干法刻蚀露出的氧化硅层及其下面的硅，刻蚀深度大于型硅与第二步生成的氧化硅层厚度之和，去除光刻胶,采用原子层沉积方法在热元件测温元件悬空结构以及环境温度检测器的测量电阻的外表面制备氧化铪，或制备氧化铝薄膜，或制备氧化铪氧化铝复合薄膜，或制备氧化硅氧化铪氧化铝复合薄膜，与第十一步形成的薄层氧化硅层一起构成钝化保护层
传感器主要特点
1．采用单片微机和高集成数字化电路，使电路结构简单，性能可靠，便于维修与调试。
2．实现了红外遥控调校零点、标校点、报警点等功能,使调校方便简单。本发明的全硅传感器的硅元件的采用性能稳定的单晶硅经工艺工得到，这使本发明的传感器在高温工作状态下具有良好的稳定性与长的寿命,采集单元，用于采集由传感器检测的浓度信号,从图的角度观察，在箱体的背面设置一进物口(未示出，用于将矿用传感器放入传感器催化元件解装置中
3．增了传感器断电控制功能,并可任意设定断电点,实现了一机多用。
4．采用新型关电源,降低了整机功耗,增了仪器传输距离。
5．增了故障自检功能,便于使用与维护。
6．设计了新的高强度外壳结构,增强了仪器抗冲击能力。
传感器适用条件
1、适用条件
环境温度：0℃～40℃
相对湿度：≤98%RH
大气压力：80kPa～116kPa
风速：0m/s～8m/s
适用于含有瓦斯或煤尘危险的煤矿井下。地，从图的角度观察，所述箱体的正面设置一观察窗(未示出，该观察窗由透明亚克力板材制成，也可以为透明材质制成，当传感器催化元件解装置始工作时，通过观察窗可以观察箱体内各装置的工作状态,型传感器检定装置型报警仪检定装置是我公司依据国家相关检定规程安全规程等所发研制生产的传感器报警仪检定装置
传感器性能指标
测量范围：0.00%CH4～4.00%CH4
基本误差 % CH4
0～1.00% ±0.10
1.00～3.00 真值的±10％
3.00～4.00 ±0.30
分辨率： 0.01%CH4
显示方式：4位LED 显示，并能表示显示值的正或负。
响应时间：传感器的响应时间（T90）应≤20s
报警点：可调，传感器出厂时设定在1.00%CH4，报警误差：±0.05%CH4。
报警方式：声、光，其中：
a) 声级强度：≥80dB(A)；
b) 光可见度：20m处清晰可见。
工作方式：扩散式
断电功能：
a) 断电点：可调，传感器出厂时设定在1.50%CH4
b) 复电点：可调，传感器出厂时设定在1.00%CH4
防爆型式：矿用本质安全兼隔爆型
防爆标志：Exdib I Mb
输出信号：
a) 频 率：200~1000Hz；5~15Hz；5~155Hz；（电流脉冲输出或光电隔离输出）
b) 断电输出：5VDC/20mA的直流信号，或光电隔离输出。
外形尺寸：270 × 155 × 55mm
重量：≤1.3kg；
外壳材质：不锈钢。
实施例的传感器催化元件解装置，通过在箱体内设置热装置和解装置定期对传感器进行干燥和解，了传感器的检测精度，增了传感器的实用寿命，减少了设备的购买数量,现有催化燃烧式传感器采用铂丝等贵金属绕制的线圈作为热元件，难以批量化生产且一致性较差，且功耗较大
实施例的传感器催化元件解装置，通过在箱体内设置热装置和解装置定期对传感器进行干燥和解，了传感器的检测精度，增了传感器的实用寿命，减少了设备的购买数量,现有催化燃烧式传感器采用铂丝等贵金属绕制的线圈作为热元件，难以批量化生产且一致性较差，且功耗较大
GJH40矿用传感器对硅热元件外表面露出的硅进行氧化，形成厚度均匀的薄层氧化硅，其厚度为十数至，作为钝化保护层,本发明的传感器是针对基于全息化透明化的监控系统发展方向而发的一种传感器，能够执行数据双向信息传输，采集和显示本地的浓度和进行本地的超限报警，可将本地的浓度信息上传至远端的主机（或分站，可以接收和输出主机（或分站等上游设备传送的其它地点的浓度和报警信息等。GJH40矿用传感器而给单片高温热器通电后则使热元件热至°以上的高温，使热元件工作在的电流-电阻特性曲线中转折点左侧的工作区域，所述转折点为电阻随电流或电压增大而出现的电阻点，当电流或电压继续增大时，电阻不再继续增大反而减小;热元件的功耗在左右,该传感器催化元件解装置包括箱体热装置和解装置。