GJ4/100采煤工作面回风隅角甲烷传感器报价

GJ4/100采煤工作面回风隅角传感器报价第四步，光刻形成正面刻蚀窗口图形，刻蚀去除掉正面刻蚀窗口图形内的氧化硅层，随后采用刻蚀继续去除掉顶层硅，刻蚀停止于埋层氧化硅，刻蚀后在埋层氧化硅层上形成硅元件固定端的结构图形并刻蚀去除掉与背面刻蚀窗口对应的窗口内的其余氧化硅层及顶层硅，所形成的硅元件及与其连接的两个固定端与埋层氧化硅层上的其余顶层硅不相连，同一个硅元件的两个固定端不与硅框架支座上的其余顶层硅相连，也不通过硅框架支座上的其余顶层硅相连,电桥的两端输出随外界气体浓度变化的电信号,所述钝化保护层为氧化硅，或氧化铪，或氧化硅氧化铝复合层，或氧化铪氧化铝复合层，或氧化铪氮化硅复合层，或氧化铝氮化硅复合层，或氧化硅氮化硅复合层，或氧化硅氧化铪氧化铝氮化硅几种材料组合形成的复合层。GJ4/100采煤工作面回风隅角传感器报价图为传感器催化元件解装置一实施例的结构示意图,将上述制备好的硅片置于四氢氧化铵溶液或氢氧化钾溶液中对型硅采用结自停止方法在硅片的正面与背面进行硅湿法刻蚀,有益效果:本发明的湿法双向刻蚀硅的传感器以硅为热材料，不使用金属。





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