矿井采煤工作面传感器GJH100传感器本传感器经接口电路接收的信息，由本机的微处理器处理后，传输至数码显示电路予以显示,采集单元至少具有一个放大器，用于放大来自传感器的浓度信号,在结自停止刻蚀的作用下，硅热元件的型硅不被刻蚀。矿井采煤工作面传感器GJH100传感器实施例通过在箱体侧面设置进风孔和出风孔，在箱体内设置风扇，了箱体内空气的循环，更有利于传感器的干燥和解,设置单元用于预置浓度报警阈值和本地标识，用可以根据需要设定浓度报警阈值，并且可以调整或改变该传感器的标识。
传感器产品介绍
传感器满足了我国煤矿监测井下浓度的需要。它可以连续自动地将井下浓度转换成标准电信号输送给配接设备，并具有就地显示沼气浓度值，超限声光报警等功能。传感器经国家防爆检验机关进行联机检验后,可与国内各类型监测系统及断电仪、风电瓦斯闭锁装置配套，适宜在煤矿采掘工作面、机电硐室，回风巷道等地点固定使用。并且，本发明的传感器对的检测无需氧气参与，因此不受空气中氧气的影响,通过第九步第十一步与本步骤或上述三个步骤的组合制备成氧化硅氮化硅复合薄膜，或氧化硅氧化铝氮化硅复合薄膜，或氧化铪氮化硅复合薄膜，或氧化硅氧化铪氧化铝氮化硅符合薄膜，形成钝化保护层
传感器主要特点
1．采用单片微机和高集成数字化电路，使电路结构简单，性能可靠，便于维修与调试。
2．实现了红外遥控调校零点、标校点、报警点等功能,使调校方便简单。电桥的两端输出随外界气体浓度变化的电信号,本实施例中的传感器催化元件解装置可用于煤矿中传感器的解和干燥，具体来讲是对煤矿井下使用的传感器做定期干燥和解等保养工作，同时也可用于自动计量人员定位等设备的干燥,上述的综合方案大的节约了成本，具有良好的效益
3．增了传感器断电控制功能,并可任意设定断电点,实现了一机多用。
4．采用新型关电源,降低了整机功耗,增了仪器传输距离。
5．增了故障自检功能,便于使用与维护。
6．设计了新的高强度外壳结构,增强了仪器抗冲击能力。
传感器适用条件
1、适用条件
环境温度：0℃～40℃
相对湿度：≤98%RH
大气压力：80kPa～116kPa
风速：0m/s～8m/s
适用于含有瓦斯或煤尘危险的煤矿井下。所述固定端的支撑硅层内设有掺杂硅层,目前煤矿对于传感器暂时性中的解决方法是通过对催化元件进行更换或者重新购买传感器,在型硅衬底的背面溅射或淀积或蒸发形成金属层，金属层的材料为铝
传感器性能指标
测量范围：0.00%CH4～4.00%CH4
基本误差 % CH4
0～1.00% ±0.10
1.00～3.00 真值的±10％
3.00～4.00 ±0.30
分辨率： 0.01%CH4
显示方式：4位LED 显示，并能表示显示值的正或负。
响应时间：传感器的响应时间（T90）应≤20s
报警点：可调，传感器出厂时设定在1.00%CH4，报警误差：±0.05%CH4。
报警方式：声、光，其中：
a) 声级强度：≥80dB(A)；
b) 光可见度：20m处清晰可见。
工作方式：扩散式
断电功能：
a) 断电点：可调，传感器出厂时设定在1.50%CH4
b) 复电点：可调，传感器出厂时设定在1.00%CH4
防爆型式：矿用本质安全兼隔爆型
防爆标志：Exdib I Mb
输出信号：
a) 频 率：200~1000Hz；5~15Hz；5~155Hz；（电流脉冲输出或光电隔离输出）
b) 断电输出：5VDC/20mA的直流信号，或光电隔离输出。
外形尺寸：270 × 155 × 55mm
重量：≤1.3kg；
外壳材质：不锈钢。
也可使用覆盖在基片正面的掩蔽版采用喷涂的方法制备所述用作保护层的光刻胶，所述掩蔽版仅露出硅元件，而其余的基片正面部分被掩蔽版遮挡住,第十二步，采用在℃时在悬空的硅元件的外表面制备氮化硅
也可使用覆盖在基片正面的掩蔽版采用喷涂的方法制备所述用作保护层的光刻胶，所述掩蔽版仅露出硅元件，而其余的基片正面部分被掩蔽版遮挡住,第十二步，采用在℃时在悬空的硅元件的外表面制备氮化硅
矿井采煤工作面传感器GJH100传感器尤为重要的是对于低浓度气体,容易批量生产与校准。矿井采煤工作面传感器GJH100传感器测试始，首先通入配比好的一定浓度的空气混合气体，设定好实验温度,所使用的两个基于湿法双向刻蚀娃的甲烧传感器构成惠斯通电桥检测桥臂。