厂房净化装局部洁净车间：将洁净车间等级10,000~100,000之乱流洁净车间内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
电子制造业洁净室的特点：
洁净度等级要求高,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，该类洁净室对静电要求其严格。其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内易产生静电，造成CMOS集成损坏。一般来说，电子厂房的温度应控制在22℃左右，相对湿度控制在50-60%之间（洁净车间有相关温湿度规定）。这时可有效地消除静电，并使人也感觉舒适。芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间是属于电子制造行业洁净室的重要组成部分，由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求为严格，主要以控制微粒和浮尘为主要对象，还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。
净化厂房的排风系统：
1、一般排风系统
一般排风系统是指在生产用室、生活用室，如值班室、卫生间等排出的一般废气，大多数情况下不需要进行处理即可直接排入大气。
2、有机气体排风系统
在产品生产中使用各类有机物质、溶剂作为原辅材料或清洗剂时，都将会在相关的场所或设备处散发有机物质、溶剂的气体，对这类场所或设备均应设置排风装置。在一般情况下，有机排风系统中的有机气体浓度是很低的，若能达到国家标准规定的大气排放标准时可直接排入大气，不需设置废气处理装置；当排风系统中有机气体浓度超过规定时，应设有机气体处理装置，经过处理达标后才能排入大气。有机排气的净化处理有活性炭吸附法、液体吸收法和催化燃烧法等，活性炭吸附注主要用于中小流量的不含粉尘、胶粘物质的苯类、汽油类有机排气的处理；液体吸收法，设备简单、耗能低，但吸收效率不高；催化燃烧法主要用于较高浓度的苯类、醇类、脂类、汽油等有机排气的处理。有机气体处理装置应根据排风系统所含有机物质的品种、浓度情况选用相应的处理设备。
3、酸性气体排风系统
在产品生产中的湿法化学腐蚀、酸液清洗、实验室内均有酸性气体排出，在这类酸性气体的排风系统通常设置温式洗气吸收塔，处理后排入大气。
4、碱性气体排风系统
在排风系统气体中含有碱性物质或在排气中混入碱性化学试剂，与酸性气体排风系统类似，通常采用湿式洗气吸收塔处理后排入大气。近年来，由于大气排放标准越来越严格，需对含有碱性物质（或酸性物质）浓度较低的排气也应进行净化处理才能达到排放标准，为此可采用吸附剂对碱性排气（或酸性排气）进行处理达标后才能排入大气，此种吸附剂一般为一次性的，使用后应进行集中处理，通常作为固体废弃物由城市垃圾处理场集中处理。
5、热气体排风系统
对生产过程中的各种炉子、高温灭菌设备等均有热气排出，由于排气温度校高，有时可采用热回收等方式进行处理，若排气量较小或不便进行处理时，在采取必要的隔热措施后直接排入大气。
6、含粉尘的排风系统
鉴于产品品种不同、生产工艺过程不同，排气中的粉尘性质、浓度均各不同，应根据其排气中的粉尘性质、浓度选用各类除尘装置，一般采用布袋除尘器、带过滤元件的过滤装置。此类装置都可以采取取拍打反吹或更换过滤器元件的方式，使除尘装置可较长期的使用。对于某些含尘浓度很高的排风系统根据工程具体情况有时尚需设置二级除尘装置将大部分粉尘去除后再送入前述的布袋或过滤除尘装置，这样做才能满足大气排放标准的要求，从而稳定、经济地运行。
7、气体排气系统
在半导体集成电路生产中常常需使用一些气体，其中许多气体均属于易燃易爆或有毒甚至剧毒或有腐蚀性的气体，对于这类排气系统先应按特气的品种、性质划分排气系统，必须防止在排气系统中产生化学反应；应选用的废弃处理装置，特气排气的处理设备由稀释法、吸收法、吸附法、催化燃烧法等；是排气系统的设备、管道的材料选用必须根据排气中的特气性质选择相适应的额的材质，并不得与排放的特气发生反应。
在催化反应段中，将有害成分催化反应（燃烧）后，再送入吸附段吸附去除各类催化反应生成物，达到排放标准后排入大气。吸附剂按设计要求定期再生、活化恢复吸附能力。
8、药品生产中有害、有毒的排风系统
在生产或分装青等强致敏性药物、某些甾体药物以及高活性、有物的房间、二类危险度以上病原体操作区的排风口，应安装过滤器，使这些药物引起的污染危险降低至限度。并且此类排风系统的排入大气的排风口与其他药品生产用净化空调系统的新风进风口应相隔一定距离。
厂房净化净隧道：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：①弹性扩充容易;②维修设备时可在维修区轻易执行。
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