GJC4/100传感器煤矿用高浓度激光传感器随着物联网的发展，当前的传感器无法满足单兵装备对低功耗长寿命低成本的检测低浓度的传感器的需求,所形成的背面刻蚀窗口图形与正面刻蚀窗口图形均小于单独进行正面湿法刻蚀刻穿硅片所需的正面刻蚀窗口图形，所形成的背面刻蚀窗口图形与正面刻蚀窗口图形的中心重叠，且各边方向相同，所形成的背面刻蚀窗口图形小于正面刻蚀窗口图形，刻蚀窗口大小应保能刻穿硅片形成通孔，通孔外形尺寸远大于娃热器的外形尺寸，且娃热兀件的娃热器位于两个刻蚀窗口的中心位置,光刻形成正面刻蚀窗口图形，刻蚀去除掉正面刻蚀窗口图形内的氧化硅层，随后采用干法刻蚀继续去除掉顶层硅，刻蚀停止于埋层氧化硅，刻蚀后在埋层氧化硅层上形成硅元件固定端的结构图形并刻蚀去除掉与背面刻蚀窗口对应的窗口内的其余氧化硅层及顶层硅，所形成的硅元件及与其连接的两个固定端与埋层氧化硅层上的其余顶层硅不相连，同一个硅元件的两个固定端不与硅框架支座上的其余顶层硅相连，也不通过硅框架支座上的其余顶层硅相连。GJC4/100传感器煤矿用高浓度激光传感器双向数据通信单元，用于将处理器输出的浓度数据包发送给远端，以及将来自远端的浓度数据包发送给处理器;,高温传感器测试装置在运行时，测试始前首先将温度传感器和待测的传感器置于恒温箱中，严格按照工序进行密封和引线，并与数据采集模块连接。
传感器产品介绍
传感器满足了我国煤矿监测井下浓度的需要。它可以连续自动地将井下浓度转换成标准电信号输送给配接设备，并具有就地显示沼气浓度值，超限声光报警等功能。传感器经国家防爆检验机关进行联机检验后,可与国内各类型监测系统及断电仪、风电瓦斯闭锁装置配套，适宜在煤矿采掘工作面、机电硐室，回风巷道等地点固定使用。主要包括车体型传感器检定装置型报警仪检定装置笔记本电脑标准气瓶和空气压缩机,沿划线槽划片，尤其切断部分划片槽内的金属连接线与电引出焊盘金属的连接，裂片后得到多个基于湿法双向刻蚀硅的传感器
传感器主要特点
1．采用单片微机和高集成数字化电路，使电路结构简单，性能可靠，便于维修与调试。
2．实现了红外遥控调校零点、标校点、报警点等功能,使调校方便简单。传感器催化元件解装置，优选的是，所述箱体由厚度为的铝板制成，所述铝板之间用铝制铆钉铆接,本传感器经接口电路接收的信息，由本机的微处理器处理后，传输至数码显示电路予以显示
3．增了传感器断电控制功能,并可任意设定断电点,实现了一机多用。
4．采用新型关电源,降低了整机功耗,增了仪器传输距离。
5．增了故障自检功能,便于使用与维护。
6．设计了新的高强度外壳结构,增强了仪器抗冲击能力。
传感器适用条件
1、适用条件
环境温度：0℃～40℃
相对湿度：≤98%RH
大气压力：80kPa～116kPa
风速：0m/s～8m/s
适用于含有瓦斯或煤尘危险的煤矿井下。本发明的硅热器使用普通的硅圆片进行工且远离硅衬底,电引出端远离固定端和键合固定端，其间距离应使单片气体检测器装焊在单片高温热单元上之后，电引出端与电端不被单片气体检测器遮挡，在电引出端和电端上可以向外进行引线键合;在键合固定端支撑端的金属层上设有高度相同的金属凸块;个键合固定端与个固定端并排间隔布置，排列顺序分别为一个键合固定端一个固定端另一个固定端另一个键合固定端
传感器性能指标
测量范围：0.00%CH4～4.00%CH4
基本误差 % CH4
0～1.00% ±0.10
1.00～3.00 真值的±10％
3.00～4.00 ±0.30
分辨率： 0.01%CH4
显示方式：4位LED 显示，并能表示显示值的正或负。
响应时间：传感器的响应时间（T90）应≤20s
报警点：可调，传感器出厂时设定在1.00%CH4，报警误差：±0.05%CH4。
报警方式：声、光，其中：
a) 声级强度：≥80dB(A)；
b) 光可见度：20m处清晰可见。
工作方式：扩散式
断电功能：
a) 断电点：可调，传感器出厂时设定在1.50%CH4
b) 复电点：可调，传感器出厂时设定在1.00%CH4
防爆型式：矿用本质安全兼隔爆型
防爆标志：Exdib I Mb
输出信号：
a) 频 率：200~1000Hz；5~15Hz；5~155Hz；（电流脉冲输出或光电隔离输出）
b) 断电输出：5VDC/20mA的直流信号，或光电隔离输出。
外形尺寸：270 × 155 × 55mm
重量：≤1.3kg；
外壳材质：不锈钢。
主要包括车体型传感器检定装置型报警仪检定装置笔记本电脑标准气瓶和空气压缩机,数据采集模块采集环境温度信号和浓度信号，并将环境温度信号和浓度信号转换为数字信号，传输给外部的上位机
主要包括车体型传感器检定装置型报警仪检定装置笔记本电脑标准气瓶和空气压缩机,数据采集模块采集环境温度信号和浓度信号，并将环境温度信号和浓度信号转换为数字信号，传输给外部的上位机
GJC4/100传感器煤矿用高浓度激光传感器在结自停止刻蚀的作用下，硅热元件的型硅不被刻蚀,固定端的硅层设在埋层氧化硅之上。GJC4/100传感器煤矿用高浓度激光传感器本发明采用湿法硅刻蚀工艺，使用低廉的化学溶液即可完成本发明器件的释放，与干法刻蚀相比，不需使用昂贵的干法刻蚀设备及工费用，因此工成本更低,同时，在本发明的硅热元件的外表面设置的钝化层也降低了外界环境对上述元器件的影响，从而进一步了本发明的传感器性能的稳定性,本发明的传感器以硅热元件为热元件和检测元件，而不使用催化剂，便可实现对低浓度气体的高灵敏度的检测。